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高溫實驗爐 科研氧化爐

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型號︰CL
品牌︰晨立
原產地︰中國
單價︰CNY ¥ 250000 / 件
最少訂量︰1 件

 共有 44 相關信息  
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產品描述

設備用途:實驗爐是半導體加工中的典型熱處理設備,用於大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。
 


主要技術參數: 
◆工藝管數量:1-4管
◆工藝管口徑:Φ90-360mm(3~12英吋)
◆工作溫度範圍:400~1280℃
◆恆溫區長度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5%(30~60歐姆)

◆結構型式:臥式熱壁型
◆氣體流量設定精度:±1%F.S

付款方式︰TT
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